| 확산장벽층을 구비하는 집적 구조체 및 이를 포함하는 전자소자 | |
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| 논문명 | 확산장벽층을 구비하는 집적 구조체 및 이를 포함하는 전자소자 |
| 성명, 발표 날짜 | 박준홍.이도현,조수연,20231106 |
| 논문정보 | 특허출원,대한민국,10-2023-0151913 |
확산장벽층을 구비하는 집적 구조체 및 이를 포함하는 전자소자 |
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